GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法 标准编号：GB/T 17864-1999 标准名称：关键尺寸(CD)计量方法 英文名称：CD Metrology procedures 发布部门：国家质量技术监督局 起草单位：中国科学院微电子中心 标准状态：现行 发布日期：1999-09-13 实施日期：2000-06-01 标准格式：PDF 内容简介 计量;尺寸;测量;测量方法
