GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范 标准编号：GB/T 17865-1999 标准名称：焦深与最佳聚焦的测量规范 英文名称：Specification for measuring depth of focus and best focus 发布部门：国家质量技术监督局 起草单位：中国科学院微电子中心 标准状态：现行 发布日期：1999-09-13 实施日期：2000-06-01 标准格式：PDF 内容简介 光学测量;测量;聚焦;焦深;规范;焦距;光学
