BS PAS 135-2007 纳米制造用术语 标准编号：BS PAS 135-2007 标准名称：纳米制造用术语 英文名称：Terminology for nanofabrication 发布部门： 起草单位：BSI 标准状态：现行 发布日期：2007-12-31 实施日期：2007-12-31 标准格式：PDF 内容简介 化学工艺过程;覆层工艺;蚀刻;纳米材料;纳米技术;照相平版印刷;生产;术语;词汇
