GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件 标准编号：GB/T 15861-1995 标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件 英文名称：Generic specification of ion beam etching system 发布部门： 起草单位：电子部长沙半导体工艺设备所 标准状态：作废 发布日期：1995-12-22 实施日期：1996-08-01 标准格式：PDF 内容简介 规范;蚀刻;机械;离子束
