标准编号：GB/T 24580-2009

标准名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

英文名称：Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所

标准状态：现行

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

标准格式：PDF