标准编号：BS ISO 18516-2006
标准名称：表面化学分析 俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法 横向分辨率测定
英文名称：Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
发布部门：
起草单位：BSI
标准状态：现行
发布日期：2006-11-30
实施日期：2006-11-30
标准格式：PDF
内容简介
俄歇电子光谱法;化学分析和试验;数据分析;定义;精整;测量;光电子的;定量分析;光谱测定法;光谱学;直尺;表面化学;表面;X射线光度法
