YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 标准编号：YS/T 23-1992 标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 发布部门：中国有色金属工业总公司 起草单位：上海市有色金属总公司 发布日期：1992-03-09 实施日期：1993年1月1日 标准状态：现行 标准格式：PDF 文件大小：90.45 KB 内容简介 本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。
