本规范规定了等离子体刻蚀机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于微电子生产工艺中等离子体刻蚀机的设计,标准网,标准分享网,标准下载网,免费标准网,标准信息网,国家标准网 ...
电子行业标准(SJ)
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