SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法 标准名称：SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法 标准格式：PDF 标准大小：245.20 KB 标准状态：现行 推荐等级：★★★★ 授权方式：免费下载 解压密码：www.biaozhuns.com 更新日期：2011年11月13日 内容简介 SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法
