SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 标准编号:SJ/T 11552-2015 标准名称:以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 发布部门:中华人民共和国工业和信息化部 起草单位: 发布日期:2015-10-10 实施日期:2016-04-01 标准状态:现行 标准格式:PDF 文件大小:6.26 MB 内容简介 本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。